幸运大满贯

性能特点

• 领先的转子技术

• 高通气量

• 适合于绝大多数工艺流程

• 无油

• 低振动

应用领域

• 金属(如铝)、钨、绝缘体(氧化物)以及多晶硅的等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

• 溅射

• 离子注入源、射线束泵送端点站

性能曲线

几何尺寸

技术指标

入口法兰 ISO100K
前级抽气口 KF40
吹扫口 KF10
水冷安装 PT1/4
抽速 N2/ H2 300/200l/s
压缩比 N2/H2 >108/103
极限真空(加热) 10-7 Pa
前级允许压力 660Pa
最大N2通量 2500sccm
额定转速 48000rpm
启动时间 4min
入口法兰允许温度 120 °C
输入电压 200~240 V (± 10)AC
启动功耗 0.6kVA
泵重 15 kg
控制器重 9kg

订货信息

货号 描述
B71901010 STPH301C涡轮分子泵 进口ISO100K
YT340Z004 STPH301C涡轮分子泵 进口DN100CF
YT3416001 STPH301CV TMS涡轮分子泵 进口ISO100F
YT3416005 STPH301CV TMS涡轮分子泵 进口DN100CF
YT49Z2Z00 SCU-800控制器
B75130020 STP控制电缆,5m
PT330V000 TMS连接电缆套件,5m
BOB体育官方网址 澳博注册网站平台 乐鱼足彩app 华体会全站APP-VIP尊享版 BOB体育官方入口