幸运大满贯

性能特点

• 设计紧凑,包括完整的集成控制器

• 独创的自适应磁悬浮轴承系统

• 数字化5轴控制

• 与普通涡轮分子泵相比振动降低了50%

• 可用于腐蚀性工艺流程

• 自动平衡系统(ABS)标准

• 自动减振(AVR)标准

• 列于UL中,具有CE标记,符合SEMI® S2

性能曲线

应用领域

• 金属(如铝)、钨、绝缘体(氧化物)以及多晶硅的等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

• 溅射

• 离子注入源、射线束泵送端点站

• MBE

• 漫射

• 光致抗蚀剂脱模

• 晶体/晶膜生长

• 晶片检查

• 装载锁真空腔

• 科学仪器:表面分析、质谱、电子显微镜

• 高能物理:射线束、加速器

• 放射性应用:核聚变系统、回旋加速器

 

 

几何尺寸

技术指标

入口法兰 ISO100K
抽速
N2 300l/s
H2 300l/s
压缩比
N2 >108
H2 >1×104
极限真空 6.5×10-6 Pa
最大工作压力 1.3×10-1 Pa
允许前级真空 67 Pa
额定速度 55000rpm
启动时间 <6min
安装位置 任何方向
冷却方式 自然冷却(加热和泵送气体时应水冷或空冷)
润滑油 无需
前级泵 240l/min
轴向方向 <100m/Gauss
径向方向 <100m/Gauss
环境温度 0°C ~40°C
存储温度 -25°C ~55 °C
重量 15kg

订货信息

货号 描述
PT640Z010 STP-iX455涡轮分子泵 ISO100K入口法兰
PT640Z020 STP-iX455涡轮分子泵 ISO160K入口法兰
PT640Z050 STP-iX455涡轮分子泵 DN100CF入口法兰
PT640Z060 STP-iX455涡轮分子泵 DN160CF入口法兰
YT79U1Z00 iDT-001显示单元
PT64W0Z00 iPS240电源
PT64Y0B20 STP-iX455/iPS240连接电缆,5 m
PT64Y0A10 iPS240电源线,3m
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