幸运大满贯

性能特点

• 领先的转子技术

• 适合于绝大多数工艺流程

•无油

• 低振动

• 高可靠性

应用领域

• 金属(如铝)、钨、绝缘体(氧化物)以及多晶硅的等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜

• 溅射

• 离子注入源、射线束泵送端点站

性能曲线

几何尺寸

技术指标

入口法兰 ISO100、CF100
前级抽气口 KF25
抽速 N2/ H2 300/300l/s
压缩比 N2/H2 >108/>2×104
极限真空(加热) (VG/ISO 法兰) 6.5×10-6 Pa
极限真空(加热) (ICF 法兰) 10-8 Pa
进口最大允许压力 (空冷) 0.066Pa
前级允许压力 (空冷) 13Pa
额定转速 48000rpm
启动时间 3min
入口法兰允许温度 120 °C
输入电压 200~240 V (± 10%)AC
启动功耗 0.55kVA
泵重 11 kg
控制器重 7kg

订货信息

货号 描述
B74830020 STP301涡轮分子泵 进口ISO100 出口KF25
B74831010 STP301涡轮分子泵 进口DN100CF
B74871000 STP301C涡轮分子泵 进口ISO100 出口KF25
B74871010 STP301C涡轮分子泵 进口ISO100
B74872000 STP301C涡轮分子泵 进口ISO100 出口KF40
B74881010 STP301C涡轮分子泵 进口DN100CF
YT21ZOZ01 SCU-350控制器
YT21CA001 STP301/451水冷环
YT011A005 STP301/451/603/1003空冷 200-240 VAC
B70700010 STP控制电缆,3m
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