幸运大满贯

性能特点

• 高导通

• 快速关闭

• 防止在电源故障的情况下导致工艺室排气

• 可防止蒸汽或微粒从底泵移至工艺室

几何尺寸

技术指标

VIV25EKA VIV40EKA VIV50EKA
法兰类型 NW25 NW40 NW50
工作压力范围 1x10-8 to 1000mbar 1x10-8 to 1000mbar 1x10-8 to 1000mbar
分子导通率 11ls-1 30.5ls-1 126ls-1
压差
关闭状态 >200mbar >200mbar >200mbar
打开状态 >200mbar >200mbar >200mbar
密封性 阀体 <1×10-9mbar l s-1 <1×10-9mbar l s-1 <1×10-9mbar l s-1
阀座 <1×10-5mbar l s-1 <1×10-5mbar l s-1 <1×10-5mbar l s-1
先导阀 <1×10-7mbar l s-1 <1×10-7mbar l s-1 <1×10-7mbar l s-1
切换时间 开启 <15*s <15*s <15*s
关闭 <0.1s <0.1s <0.1s
响应 <0.05s <0.05s <0.05s
材料 阀体
材料 密封 氟橡胶 氟橡胶 氟橡胶

订货信息

货号 描述
A50637500 VIV25EKA电磁阀 24V DC
A50637501 VIV25EKA电磁阀 100-115V AC
A50637502 VIV25EKA电磁阀 208-230V AC
A50637510 VIV40EKA电磁阀 24V DC
A50637511 VIV40EKA电磁阀 100-115V AC
A50637512 VIV40EKA电磁阀 208-230V AC
A50637520 VIV50EKA电磁阀 24V DC
A50637580 VIV阀连接盒 C13/C14 100-230V 50/60Hz
A50637392 VIV阀电源线
A50637590 VIV阀连接盒 C19/C20 100-230V 50/60Hz
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