幸运大满贯

性能特点

• 快速再生和多泵控制降低了停机时间并提高了生产效率

• 稳定的真空特性适应于变化的工艺条件

• 远程监测可预测维护且提高了生产小懒虫

• On-Board的配置——无穷多种变化选择

• 运用GUTS®支持体系和TrueBlueTM服务协议

快速再生

回应更长的运行时间要求

尽管可以吸入大量的气体,低温泵还是不可避免的需要再生以去除冻住的气体,恢复它们的真空能力。

运用集成控制,On-Board®低温泵系统的再生时间只有传统低温泵的二分之一到三分之一。不仅是On-Board®低温泵的完全再生速度更快,它的高度成熟的控制系统还能确保再生过程是真正完整的,设备或工艺生产效率是最大化的。

此外,On-Board®的快速再生功能进一步提高了连续运行时间,它用完全再生的一小部分时间快速去除工艺气体,恢复自身的性能。

借助网络技术推动生产力

对于多台低温泵系统,On-Board的泵对通讯网络可以把低温泵联系在一起,并进行“团体”再生,而不是“一次一台”的再生。通过执行泵与泵之间的协调再生任务,On-Board 的团体再生功能可以使多台泵恢复全部生产力,而所用时间只比一台非智能低温泵再生的耗时稍稍多一点。

当工艺条件改变时真空依然稳定

我们设计的每一台CTI-Cryogenics的On-Board低温泵都具备稳定的真空特性尤其是当工艺条件不像您所期望的那样稳定时。On-Board低温泵通过控制第一级低温冷板的温度来维持在真空环境发生各种变化时的泵抽空能力——而这种能力是传统低温泵不具备的。总而言之,真空更稳定。

使预测维护成为可能——同时获得更高的生产效率

On-Board®低温泵系统是提供内置监控系统的创始。感谢On-Board低温泵系统的集成网络控制系统,甚至是与正常表现极轻微的偏离趋势也可以显示出来,这样就可以在连续运行时间受到影响之前更早的进行防御好采取措施。

On-Board低温泵监控特性历史记录包括全部运行时间、近期的再生历史记录、以及更多内容,使你可以仔细地观察每一台On-Board泵在此之前的运行特性—-从而获知它们以后的优秀性能。了解从系统启动开始到轻微的性能异常变化的实时监控数据,可以使你方便地安排停机时间——或者是按照维护计划执行,或者是在其它恰当的时间。开始表现性能变差的零件可以很快地被更换,以保证正在进行的生产。总之,On-Board系统几乎可以避免系统中的意外中断

在我们全球支持服务体系的各种选项中,一种与GOLDLink软件监控功能创建的如同亲临现场的联系,使得JIT维护实践变得可以预测。这样带来的好处就是提高了真空的可利用性、改善了工艺的可靠性,减少了晶圆的碎片率,同时降低了业主的成本。

几乎无穷多种的选择

Brooks是最早同时提供卧式和立式CTI-Cryogenics低温泵的生产商,卧式结构用于体积紧凑的应用而立式结构则用于传统应用。

On-Board低温泵的尺寸范围从法兰内径4英寸到400毫米。我们可以准确地提供满足您应用安装结构要求的泵。然而,您的选择并不是低温泵选型的结束。从一个高可靠性的氦气压缩机的完整管线到各种形状和长度的弯曲管线,我们CTI-Cryogenics的庞大附件家族囊括了可以迎合几乎所有现存真空需求的附件。

 

技术参数

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