幸运大满贯

CTI-Cryogenics® On-Board®IS 500是现今市场上最高性能、最智能的大口径(500m)低温泵。显著的抽速、容量和通道优势,使On-Board®IS500成为那些要求稳定真空特性的高产能应用的理想选择,例如LED、OLED、平板制造、光学镀膜、金属沉积、空间模拟和大容器抽空系统等应用。

拥有现场实践检验,全球公认的CTI-Cryogenics On-Board®IS技术,On-Board®IS 500低温泵可提供高抽速以实现快速抽空。通过程序控制,第一级温度控制在100K可提供更稳定更可靠的真空性能,同时清洁无油运行,没有液氮损耗从而改善真空质量。On-Board®IS 500低温泵采用大冷量双极制冷机(第一级100w@80k@50hz 120w@80K@60hz;第二级15w@20k@50hz 18w@20k@60hz),可支持高热量工艺应用和大气载从而获得更好的真空可靠性能并能延长两次再生之间的时间间隔。

On-Board® IS 500低温泵冷头采用机械驱动方式稳定可靠,不受氢气压力波动影响;双级制冷机均采用硅二级管测温元件,测温准确反应灵敏;双极制冷机均采用内置加热器,可实现精准的控温及再生时的辅助加热;同时On-Board®IS 500低温泵带有气体吹扫功能可以有效的帮助清洁活性炭,冷泵再生更彻底更安全。

智能即插即用的On-Board IS 500低温泵是在共产安装并测试过的包括阀、传感器和加热器的整套系统,同时还集成微处理系统,使你可以自动运行以下操作,甚至是异地也可以自动操作:

• 再生控制

• 温度控制

• 手动远程/本地控制

• 读取运行历史、诊断数据文件

• 电源故障自动恢复

• 诊断历史数据记录

• 真空系统PLC或主机

可靠的CTI-Cryogenics压缩机输送清洁无油的高压氦气。On-Board 500 IS低温泵与现场On-Board IS 1000压缩机无缝运作。更重要的是CE和UL认证的On-Board IS 1000压缩机带有智能通讯接口,在线监测氦气流量、氦气压力、冷却水流量、冷却水温度、功率消耗等运行参数指标,具有在线智能诊断功能。

 

性能特点

• 非常的抽气速度适合高产能真空应用的抽量要求

• 经过现场验证的CTI-Cryogenics On-Board IS 技术可确保高可性、长寿命和较少的维护需求

• 变频马达控制技术提供更充足的冷量,从而真空特性更优越,对额外负载的抵御能力更强

• 变频马达控制技术降低冷头振动值从而降低整个真空系统的振动,大大提高工艺控制的稳定性

• 更加可靠的冷头内部密封和传动结构设计,提高冷泵运行可靠性和使用寿命

• 高冷量能力用于处理大气载可延长两次再生的时间间隔以降低成本

• 只能的自动控制系统可维持真空特性的稳定并能实现快速再生

• 清洁、无油运行,没有液氮的消耗同时改善了真空质量

技术参数

参数性能
抽速
30000l/s
空气 10000l/s
13700l/s
8400l/s
气体容量
45标升
6000标升
通导
1000Sccm(13Torr-L/s)
启动流量 600Torr L
完全再生 200min
物理特性和公共设施需求
低温泵安装法兰
法兰形式 ISO(K)500mm
重量 62.6kg
工作电压 200/230 50/60Hz
额定输入功率 5.8kw
系统冷却要求 水流量 3GPM
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