幸运大满贯

性能特点

·  HPG400 节省成本和工具空间和减少真空系统安装和设置的复杂性

·  高压强热电离真空计提供精确,可靠的压强测量从1 x 10-5 至 1 毫巴, 用于改进的过程控制

·  用户可选的热离子发射作用于 5 x 10-2 与 1 毫巴之间

·  皮拉尼联锁保护热灯丝防止过早烧毁

·  可选图形显示器和现场总线接口

·  自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预

·  RoHS 兼容性

应用领域

·  溅射应用于半导体制造,电子学和介质工业中

·  工业镀膜

·  一般真空测量和控制在低至高真空范围

几何尺寸

技术指标

测量范围 大气压~2×10-6
精度 ±15%(10-5~1 mbar)
再现性 ±2%(10-5~10-1 mbar) ±30%(10-1~100mbar)
允许最大过压 2bar
温度
工作 0~50℃
贮存 -20~70℃
在法兰处烘烤 80℃
卸除电子学 150℃
电源电压 20~28V
输出信号模拟 0~10.2V
测量范围
热阴极 1.5~7.5V
皮拉尼 8.5~9.75V
电压与压强的关系
热阴极 1V/量级
皮拉尼 0.25/量级
误差讯号
热阴极 0.3V
皮拉尼 0.5V
负载电阻最小 10kΩ
接口 RS232
电连接件 D-Sub,15-脚,插头型
电缆长度(最大) 100m
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃
内容积KF/CF 20/30 cm3
重量KF/CF 430/695g
保护等级 IP30

订货信息

货号 描述
353-520 HPG400无LCG,DN25 ISO-KF
353-522 HPG400无LCG,DN40CF-F
353-521 HPG400带LCG,DN25 ISO-KF
353-523 HPG400带LCG,DN40CF-F
353-525 HPG400-SP带Profibus Dp DN25 ISO-KF
353-526 HPG400-SP带Profibus Dp DN40CF-F
353-527 HPG400-SD带DeviceNet DN25 ISO-KF
353-528 HPG400-SD带DeviceNet DN40CF-F
354-487 更换用传感器25 ISO-KF
354-488 更换用传感器DN40CF-R
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